适用范围：九游体育app娱乐

木尺度轨则了硅单晶切割片、研磨片和抛光片(简称硅片)的杭弯强度测试面孔。

本尺度适用于晶向为<X11>和<1}>的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250-900um

依据尺度：

GB1 2964硅单晶抛光片

GB 12965硅单晶切割片和研磨片

常用术语：

抗弯强度

试样落空时的最大抨击应力，对脆性材料时常是凸名义最大径向张应力，表征抗落空的性能。

小挠度--圆片受到中心载荷抨击时，圆片中心面抨击前后的最大位移与圆片厚度比为小量。

面孔旨趣：

硅片抗弯强度的放哨机若何制样？

1、硅片抗弯强度与硅片内在质地和名义挫伤景况干系，一般力学参数齐有一定的散播度，因此每组试样作筹谋时需10片傍边，抽检时可按干系抽样尺度或供需两边约定。

2、试样名义应得当GB12964或GB12965条目。

3、将试样用石腊:松香=2:1配成的粘合剂粘在玻璃板上，用直径40mrn的割圆套头在台钻上割成直径40mrn的圆片。割圆位置轨则如下:直径小于80mm的硅片在齐心圆位置;直径80rnm以上长硅片在偏离主参考面45。位置割第一个圆。

4、试样用稳妥溶剂去腊九游体育app娱乐，用洗涤剂清洗洁净，去离子水冲洗，烘干后放入干燥器中备用。